バリアブルアッテネータオプティクス
バリアブルアッテネータオプティクス
レーザ光のエネルギ－を必要に応じてきめ細かく調整できます。
主な特徴
- 微調整が可能
- 透過率を自由に調整可能
- カスタム対応可能
- ニ－ズにあわせて透過率範囲を設定可能
バリアブルアッテネ－タは、多層膜の光学特性によってレーザ光のエネルギ－を連続的に変化させる光学部品です。用途に応じて90.0%～5%（193nmは80.0～5.0%）まで、自由にレーザ光量を調整することが可能です。基板回転によって透過エネルギ－を可変するA-typeと、基板スライドによって可変するS-typeがあります。
A-typeは、基板回転によって透過率を可変させるため、光軸がシフトしますが、コンペセ－タとの組合せにより光軸シフトを抑えることが可能です。
S-typeは、基板上に連続的に透過率を変化させたコ－ティングを施しているため、比較的小口径なビ－ムに適しています。高いレーザ耐力と省スペ－スを特徴とします。
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