対物レンズ

対物レンズ

対物レンズ

当社が得意とする高耐力ARコートが施されたレンズを高精度に組み上げた高耐力仕様のDUV用対物レンズです。各種微細加工や欠陥検出光学系に最適です。

応用分野

レーザ加工機、太陽電池製造・検査装置、半導体製造・検査装置、液晶製造・検査装置

製品例

型番 波長 焦点距離 NA 加工範囲 WD ウインドウ
KVH20-8 248~266nm/546nm 20mm 0.2 0.5mm 10.2mm 交換可
KVH40-9.6 248~266nm/546nm 40mm 0.12 2mm 24mm 交換可
KV100-25 248nm 100mm 0.125 2mm 70mm なし
KV200-25 248nm 200mm 0.05 4mm 192mm なし

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