エキシマレーザ用オプティクス

エキシマレーザ用オプティクス

世界最高水準の高耐力な製品をご提供します。

エキシマレーザ用オプティクス

主な特徴

エキシマレーザ用オプティクス 主な特徴
高いレーザ耐力
世界最高水準KrFレーザミラー
28J/cm2 @248nm,15ns
(レーザコンディショニング)
高い反射率
VUVエキシマにも対応
R>95%@157nm,垂直
低い光学損失
R>99.98% @1064nm、低吸収と低散乱

SOCは、20年前からエキシマレーザ用コ-ティングの開発に取り組んでいます。妥協することなくナンバ-ワンを追求する研究開発により、高耐力エキシマレーザ用ミラ-を完成。126nmから352nmまで、高出力エキシマレーザに対応可能な技術力をもとに、お客様の多様なニ-ズに柔軟にお応えします。

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オプティクス (pdf, 8,166KB)

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