エキシマレーザ用オプティクス
エキシマレーザ用オプティクス
世界最高水準の高耐力な製品をご提供します。

主な特徴

- 高いレーザ耐力
- 世界最高水準KrFレーザミラー
28J/cm2 @248nm,15ns
(レーザコンディショニング) - 高い反射率
- VUVエキシマにも対応
R>95%@157nm,垂直 - 低い光学損失
- R>99.98% @1064nm、低吸収と低散乱
SOCは、20年前からエキシマレーザ用コ-ティングの開発に取り組んでいます。妥協することなくナンバ-ワンを追求する研究開発により、高耐力エキシマレーザ用ミラ-を完成。126nmから352nmまで、高出力エキシマレーザに対応可能な技術力をもとに、お客様の多様なニ-ズに柔軟にお応えします。
