加工光学系

加工光学系

加工光学系

193nmの紫外レーザから1.06umの近赤外レーザまでさまざまな波長に対応した溶接、リペア、アニーリング装置などに用いられる各種集光光学系、観察光学系を提供致します。
要素部品には当社コア技術である高耐力オプティクスを採用し、kW級装置においても高い信頼性を得ております。

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製作実績

●対応波長の製作実績

  • 深紫外(DUV)
  • 紫外(UV)
  • 可視(VIS)
  • 近赤外(NIR)

●加工光学系の製作実績

  • 集光光学系
  • 観察光学系
  • ファイバー出射光学系
  • ファイバー集光光学系
  • ファイバーカップリング光学系
  • ホモジナイザ光学系
  • レーザースキャニング光学系
  • レーザーリペア光学系
  • 露光用光学系
  • 溶接用光学系

応用分野

レーザ溶接、レーザアニーリング、レーザリペア、レーザトリマ、エキシマレーザ穴あけ加工、液晶パネル加工、ウェハ加工

各種製品に関するお問い合わせは下記までご連絡ください。

TEL 03-5450-5133

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