レーザ計測光学系
レーザ計測光学系
半導体マスクやウエハの欠陥検出装置、液晶パネルの検査装置、ディスクの検査や計測、環境計測をはじめとする各種レーザ計測用精密光学系をOEM提供致します。光学系のコア部分であるレンズ類は設計から製造検査まで一貫して自社で行い、お客様の要望される性能、品質を満足した製品をご提供するとともに、時代の要求に合致した最良の製品をいち早くご提供可能です。

応用分野
ウエハ欠陥検出装置、マスク欠陥検出装置、レチクル欠陥検出装置、レーザレーダ
設備(クリーンルーム)について
SOCではクリーン度100,000・10,000・100のクリーンルームを用意し、精密光学機器・部品を組み立てる際の環境にも配慮をします。
特に半導体や液晶関連の装置で使用される製品については、僅かな埃もその性能に影響を及ぼすため、最適な環境で組立・検査を行う必要があります。製品に応じ、クリーン度100,000・10,000・100の部屋を選択し、組立・検査環境の最適化を図っています。

