バリアブルアッテネータ
バリアブルアッテネータ
レーザの入射角により透過率が可変する素子を利用したアッテネータです。主にエキシマレーザなどランダム偏光のレーザを使用するアプリケーションに利用されます。
波長に応じ特注対応も可能です。
応用分野
レーザ加工機、太陽電池製造・検査装置、半導体製造・検査装置、液晶製造・検査装置
製品例
| 型番 | 波長 | 透過率可変範囲 | 有効径 | 光軸高さ | レーザ耐力(参考値) | 最大入射パワー | 価格 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| V193-ⅡL | 193nm | 10～80％ | 43×20mm | 50mm | 500mJ/cm2(15ns10Hz) | 50W | \690,000 |
| V248-ⅡL | 248nm | 5～90％ | 43×20mm | 50mm | 500mJ/cm2(15ns10Hz) | 50W | \660,000 |
| V308-ⅡL | 308nm | 5～90％ | 43×20mm | 50mm | 500mJ/cm2(15ns10Hz) | 50W | \690,000 |
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